為進(jìn)一步拓寬學(xué)術(shù)視野、推動(dòng)前沿技術(shù)應(yīng)用，2025年5月16日上午10時(shí)，機(jī)械工程學(xué)院在千佛山校區(qū)創(chuàng)新大廈1103室舉辦“半導(dǎo)體材料的多能場(chǎng)輔助原子級(jí)制造技術(shù)”學(xué)術(shù)講座，山東大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院王沛志研究員主講，學(xué)院部分碩博研究生參加了本次講座。
王沛志，山東大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院研究員、博士研究生導(dǎo)師，主要致力于半導(dǎo)體材料的磨粒加工技術(shù)和原子級(jí)制造方面的研究。他闡述了原子級(jí)制造技術(shù)在半導(dǎo)體材料方面的應(yīng)用，以深入淺出的方式講解了主要的原子級(jí)制造技術(shù)，使同學(xué)們對(duì)半導(dǎo)體材料的原子級(jí)制造有了清晰的認(rèn)識(shí)。隨后，詳細(xì)闡述了光輔助等離子體原子刻蝕和激光輔助原子層刻蝕，揭示了引入多能場(chǎng)輔助下進(jìn)行原子級(jí)制造的機(jī)理。現(xiàn)場(chǎng)學(xué)術(shù)氣氛熱烈而融洽，同學(xué)踴躍提問(wèn)，王沛志對(duì)同學(xué)們的問(wèn)題進(jìn)行了詳細(xì)解答。
講座以其詳實(shí)的內(nèi)容和通俗易懂的講述方式，為同學(xué)們?nèi)轿徽故玖税雽?dǎo)體材料的多能場(chǎng)輔助原子級(jí)制造的研究進(jìn)展和發(fā)展趨勢(shì)。此次講座通過(guò)專業(yè)全面的講解和具體案例的分析，拓寬了同學(xué)們的創(chuàng)新思維和學(xué)術(shù)視野，對(duì)提升同學(xué)們的科研水平具有重要意義。